二手 NRC / VARIAN 3117 #9160339 待售

NRC/VARIAN 3117是利用惰性气体进行材料沉积的大面积溅射设备。它具有两个安装在两轴电动精密级上的大功率磁控管溅射头。每个磁头由5kW或20kW的直流电源供电，分别产生70mA和160mA离子电流。该系统配备了多气体能力，以最多8种独立气体控制工艺大气。它包括一个自动化的数字过程控制器和预先编程的过程配方，以便于操作。NRC 3117有一个大的60 cm x 40 cm主室，配有集成的负载锁定机制，便于样品装载。这样可以同时将多达四个目标安装到两个溅射头上。该单元还包含一个12英寸的可转动基板支架，能够容纳各种尺寸和形状的基板。VARIAN 3117利用一台基于石英的精密惰性气体分配机，确保溅射气体在整个腔室中的准确、均匀分布。这种双控歧管工具可以独立操作，也可以用于溷合气体，以达到所需的工艺气氛。利用精密质量流控制器对腔室内的压力进行监测和调节，并进行精度校准。3117还具有一个名为"脉冲计数"的现场资产监控功能，这是模型整体性能的一个指标。此外,设备还可以存储多达10种不同的工艺配方以及详细的诊断信息。NRC/VARIAN 3117溅射系统旨在为各种工艺提供最大面积的薄膜产量。利用它的大室，精确的控制，通用的气体系统和可变溅射头功率，它可以量身定制以满足任何特定的沉积需要。NRC 3117溅射装置的设计是为了确保卓越的性能和持久的效果，为多年的可靠服务。