二手 NRC / VARIAN 3177 #9122993 待售

NRC/VARIAN 3177是一种用于薄膜沉积的溅射设备。它旨在为在基板上制造薄膜金属或介电层提供精确、可靠的工具。NRC 3177由真空室和电源单元（PSU）组成。该系统的核心是其真空室，其设计目的是创造和维持高真空环境。腔室的低真空区域用于双层溅射（BLS）或三层溅射（TLS）。这意味着腔室可以用来生产附着力高、表面光滑的溅射膜。密封室是完全密封的，这是一个使污染最小化并使清洁更容易的特性。PSU由电源和控制板组成,用于控制溅射过程。电源能够提供高达1800伏的直流电源，以及高达100安培的电流，允许不同类型的溅射。此外，控制板可以提供各种预编程参数，也可以定制以满足特定沉积过程的需要。VARIAN 3177能够产生多种薄膜应用，包括屏障和共溶剂层、多层结构和扩散屏障。它还能够处理各种直径不超过200毫米的基材。3177具有两条内置气线，可用于调节溅射过程中的压力，并在溅射结束时引入惰性气体。该单元还配备了数据记录机，允许用户存储进程相关数据以供将来参考。NRC/VARIAN 3177由于其直观的操作接口而易于使用。其先进的特点，如精密控制、数据记录以及广泛的兼容基板，使其成为满足各种薄膜沉积需求的理想选择。