二手 NRC / VARIAN 3177 #9144755 待售

NRC/VARIAN 3177是一种物理气相沉积设备，用于在基板上溅射沉积薄膜。它由一个小模块组成，包括一个溅射室，包括用于产生溅射过程的直流电源、一个泵站、机械平台和控制单元。此外,NRC 3177系统还包括用于胶片表征和其他高级功能的组件。溅射沉积模块设计用于利用直流辉光放电工艺将物料从目标（通常是金属或合金）蒸发到基板上。这里使用的直流电源使用辉光放电从目标材料产生等离子体场，当离子被吸引到基板上时，使目标原子喷射到基板上。沉积过程由使用的材料、腔室压力、施加的功率以及目标与基板表面之间的工作距离来调节。泵站由涡轮分子泵和机械泵组成，以维持溅射室中必要的真空水平。软件控制单元监控和改变气体流量比来控制腔室压力。机械平台容纳目标材料、基板载体和横向轴承。目标通常是圆形的，直径可达8英寸，基板载体可调节以容纳各种尺寸的基板。该平台还装有先进的样品温度控制器，使用户能够精确控制基板的温度。控制单元由运行软件接口的个人计算机组成，负责控制单元的各个组件。它有一个直观的用户界面，允许用户根据胶片的所需属性来编程不同的沉积参数。它还提供了用于管理和归档实验数据的工具。VARIAN 3177溅射机提供高质量的薄膜沉积，易于升级，以满足当今薄膜器件的高需求。溅射工艺非常适合氧化物、氮化物、纯金属和金属合金的沉积，适合各种不同的应用。该工具可靠、易于使用,是各种应用程序的理想选择。