二手 OERLIKON / BALZERS 750 #9095626 待售

OERLIKON/BALZERS 750溅射设备是一种功能强大、坚固、可靠的溅射室,旨在满足晶片均匀性、步长覆盖范围、边缘排除和最终工艺控制级别方面的最高要求。该系统由高性能磁控管源提供动力，能够将均匀的薄膜沉积在最多7英寸的一系列基板上。BALZERS 750与其他溅射系统的主要特点是其专利蚀刻配置。这种设计允许深度源穿透与精确的边缘排除控制。等离子体的恒定通量允许稳定的溅射操作和均匀的薄膜沉积在晶片的所有部分。OERLIKON 750的腔室容量及其高泵送速度也使其适合于多种应用过程，包括阳极氧化、离子植入和去杂质过程。使用多个同时源的选项,用户可以灵活地在多个目标上溅射不同的材料。750还配备了该公司的Multitarget溅射技术，该技术允许在同一溅射沉积中实现前所未有的纳米成像、成分和形态组合。这一专利单元还允许对屏障层制造进行优化，如附着力促进层和扩散屏障。OERLIKON/BALZERS 750的用户友好的监控软件机器便于过程控制以及基于实时数据的前馈和后馈循环。这样就可以创建和调整流程工作流,以获得任何给定应用程序的最佳结果。该工具还配备了极其精确的校准系统，用于监测、测量和报告沉积过程中的操作参数。最后，BALZERS 750获得专利的温度控制资产能够实现具有非常精确的热斜坡特性的工艺，这对于某些应用工艺至关重要。这使得模型非常可靠和精确，适合最艰难和最苛刻的制造需求。