二手 OERLIKON / BALZERS / EVATEC Clusterline 200 #293635940 待售
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ID: 293635940
Sputtering system
(5) CTI Pumps (Including TMC)
(3) CTI Compressors
(2) Rough vacuum pumps
Turbo pump and controller
Residual gas meter.
OERLIKON/BALZERS/EVATEC Clusterline 200是专门为生产薄膜而设计的先进溅射设备。它由几个组分组成，包括电弧射流离子源、射频基板偏置源以及高频发电机和用于溅射沉积的腔室。该系统高度自动化，用户友好，能够完全控制沉积过程，并在多种基材尺寸上提供出色的工艺重复性。这种灵活性允许制备非常广泛的基材。EVATEC Clusterline 200的电弧射流离子源提供强大、稳定的离子轰击，产生高密度、高速率的蚀刻和溅射沉积。这一来源还确保了蚀刻和沉积过程在多个基板上的均匀性，导致薄膜层更薄，缺陷更少。射频基板偏置源增加了蚀刻速率，提高了沉积层在大平面上的均匀性。高频发电机提供可调节的功率输出，可以调整以满足不同应用的需求，从而实现长期稳定，最大限度地延长沉积层的使用寿命。BALZERS Clusterline 200的腔室使用氦气绝缘，以减少污染和氧化的可能性。它还使用一个传感器单元来监控沉积过程，以便在出现问题时进行快速故障排除。此外，OERLIKON Clusterline 200还提供了先进的安全功能，如先进的监控机器、下一代腔室密封以及用于监控和报告任何错误或不安全状况的工艺控制单元。所有组件还旨在保护用户免受与溅射系统相关的潜在危害和健康风险。总体而言,Clusterline 200是任何需要可靠、高质量溅射工具的应用程序的绝佳选择。凭借其先进的功能，它提供了高度的用户控制和灵活性，出色的安全特性，以及优越的薄膜层质量。
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