二手 OERLIKON / BALZERS / EVATEC Clusterline 200 #293800020 待售
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ID: 293800020
晶圆大小: 12"
Sputtering system, 12"
(3) Process chambers:
PC-1 (P-Layer)
PC-2 (I-Layer)
PC-3 (N-Layer).
OERLIKON/BALZERS/EVATEC Clusterline 200是一种溅射设备,用于用薄保护膜涂覆多种材料。该系统利用惰性气体携带要沉积在底物上的元素的阳离子,在底物上产生负电荷。然后将阳离子加速向底物,从而形成一个密集、均匀和保形的材料层。溅射用于多种行业,提供电气绝缘、耐磨、表面稳定、磨损腐蚀防护、附着和表面性能、光反射等涂层服务。这个溅射装置有真空泵和疏散室、目标组件、离子源和电子控制机等几个部件。真空泵将腔室排空,清除污染物和氧气,然后产生溅射所需的真空。目标以扁平目标的形式提供金属或金属化合物。离子源产生阳离子,阳离子通过腔室向基板加速产生所需的涂层。最后,使用计算机控制工具对过程进行监控.EVATEC Clusterline 200专为提供高质量、可重现的工业级溅射工艺而设计。其工艺质量是通过采用创新的基板支架设计来实现的,该设计能够容纳200毫米大小的基板。此外,该资产还包括一个用于单向溅射的水平旋转直接样品支架,可实现更快的溅射速率和增强的涂层厚度均匀性。BALZERS Clusterline 200溅射模型是一种高效可靠的涂层材料设备,适用于广泛的应用。该系统的鲁棒性和多功能性为需要高级溅射结果的研究和生产过程提供了快速可靠的交钥匙解决方桉。此外,其先进的特点,如多区操作、基板自动定位、溅射过程中使用惰性气体等,使得机组不仅可靠性高,而且用户友好。这样可以实现快速、安全的操作,从而实现高度自动化。最后,OERLIKON Clusterline 200提供可靠的涂层,确保高质量的输出。
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