二手 OERLIKON / BALZERS LLS EVO #9081784 待售

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ID: 9081784
晶圆大小: 6"
优质的: 2000
Load lock sputtering system, 6" Process: TaN Polycold set up for both chambers 12 wafers per run Could run 4 targets Computer and Windows 7 included Cryo pump load chamber Turbo main chamber Currently de-installed 1999-2000 vintage.
OERLIKON/BALZERS LLS EVO是一种用于生产电子元件的溅射设备。它是一种中等功率、高容量的工具,非常适合工业和研究应用。该系统为现代企业的薄膜沉积需求提供了易于使用的解决方桉,如钝化、金属化和真空沉积。BALZERS LLS EVO旨在在溅射过程中提供高度的灵活性。它能够沉积各种材料,包括金属、氧化物和电介质,同时还提供各种溅射技术以确保最佳效率。该单元包括一个用于溅射过程的多区真空室、一个用于精确物料沉积控制的计算机控制控制器,以及一个用于高效目标交换的先进溅射目标附着机。除了高度的灵活性和性能外,OERLIKON LLS EVO还提供了自动化过程控制、高功率溅射能力、高精度场发射扫描电子显微镜以及强大的数据分析工具等多种功能。它还被设计为具有较长的使用寿命,具有预防性维护的多个步骤,如定期清洁和定期传感器校准。这有助于确保高质量的产品,每次都具有一致的结果。总体而言,LLS EVO是一种坚固的溅射工具,能够生产高质量的薄膜材料。它提供了处理多种材料和技术的灵活性,同时还提供了计算机控制的过程控制、高精度场发射扫描电子显微镜和强大的数据分析工具等高级功能。OERLIKON/BALZERS LLS EVO使用寿命长,性能可靠,是各种生产应用的完美工具。
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