二手 OERLIKON / BALZERS LLS EVO #9208365 待售

OERLIKON/BALZERS LLS EVO是一种高度先进的溅射沉积设备，用于工业和研究实验室制造薄膜涂层。它通过一系列独特的特性提供了先进的性能，提供了对材料沉积到基板上的高级控制。基本溅射系统由一个真空室组成，两个单独的源物理定位在腔内，并与电源相连。来源可以是圆柱形的，也可以是平面的，有多种来源材料。源的进料由固态阀提供，可以精确控制输入材料。腔室可以在超高真空环境下或低压反应环境下运行。此功能提供了在基板上生产所需材料的灵活性。BALZERS LLS EVO的射频源可以生产高度均匀的涂层,从而降低材料内高缺陷区域的可能性。这是通过使用射频信号在阳极和阴极表面之间创建谐振频率来实现的。这种共振增加了室内电离粒子的数量，进而增强了沉积的均匀性和速率。OERLIKON LLS EVO也加入了专利的固态快门单元。本机速度极快，可进行精确脉冲控制。脉冲能提高峰值功率时的离子数量，并能快速启动和停止沉积循环。这导致粒子的电离增加，允许更短的沉积时间和更高的涂层质量。LLS EVO还提供快速、方便的晶圆交换和处理。一个非常精确的两轴对齐器用于在腔室之间移动晶片。这样就可以精确地放置基板以获得最佳沉积。OERLIKON/BALZERS LLS EVO结合其先进的控制系统，为生产高品质的薄膜涂层提供了一种极为通用的工具。该腔室能够在各种暴露条件下生产各种材料，缺陷率低。这一资产效率极高，非常适合生产线应用以及涂料技术的研发。