二手 OERLIKON / UNAXIS Clusterline 200 #293643906 待售

OERLIKON/UNAXIS Clusterline 200溅射设备是将薄膜沉积到金属、陶瓷和塑料等各种基材上的先进且通用的工艺。这一工具使金属、半导体和介电膜能够利用各种技术从各种材料来源沉积。UNAXIS Clusterline 200中使用的特殊溅射方法称为单批溅射过程。OERLIKON Clusterline 200设计用于可靠和可重现的处理。许多功能有助于其卓越的性能,包括自动控制和过程监控、高精度定位和负载锁定。此外,它还包含许多创新的设计元素,可确保最优质的影片和可靠的性能。这些要素包括一个额外的房间来容纳计算机控制的机械臂，一个光学监测系统和一个闭环过程控制单元。在Clusterline 200的运行过程中,同时监视几个过程参数。这些参数可以实时调整，允许对沉积条件进行微调，以保证高膜质量和产量。再者，机器装有等离子体发生器，最多可装载四种不同的目标材料，允许单批沉积多层。OERLIKON/UNAXIS Clusterline 200可用于包括半导体制造、微电子器件制造和光学涂层在内的广泛应用。该工具适用于小型和大型生产,并且由于能够根据客户的特定需求进行配置,因此非常灵活。此外,它还为用户提供对工艺参数的广泛控制,确保经济高效的生产。总体而言，UNAXIS Clusterline 200是一种多功能、可靠的溅射工具，非常适合高质量、高通量的薄膜沉积。其精密的设计和自动化的控制资产保证了影片的最高质量和统一性，确保了用户成功的制作过程。