二手 OERLIKON / UNAXIS Clusterline 300 #293778340 待售

OERLIKON/UNAXIS Clusterline 300是为半导体和先进材料行业的高精度薄膜沉积而设计的最先进的溅射设备。这种先进的工具利用最新的技术进步在溅射过程中提供无与伦比的性能和多功能性。UNAXIS Clusterline 300系统的核心是群集工具体系结构,它提供了非凡的灵活性和可扩展性。该单元由多个通过中央转移模块相互连接的工艺室组成，允许不同工艺步骤之间的基板无缝转移。这种模块化设计使用户能够自定义机器配置以满足特定要求,并根据需要轻松扩展刀具的容量。OERLIKON Clusterline 300工具的关键特性之一是其先进的溅射能力。该资产配备了一系列溅射源，包括磁控管溅射和反应性溅射，允许沉积种类繁多、具有高均匀性和重复性的材料。这些溅射源可以配置为各种几何形状，以适应不同的基材尺寸和形状，为用户提供了将薄膜沉积在各种基材上的灵活性。集群线300模型还结合了先进的过程控制技术，以确保对沉积过程的精确控制。设备配备实时监控反馈系统，连续监控气体流速、溅射功率、基板温度等关键工艺参数。这种实时反馈使用户能够即时优化工艺条件,从而获得卓越的影片质量和性能。此外，OERLIKON/UNAXIS Clusterline 300系统具有方便用户的界面，便于编写和操作该单元。直观的软件界面为用户提供了对过程参数和配方管理的全面控制，使得设置和运行复杂沉积过程变得简单。此外，该机还配备了先进的安全功能，以保护操作员，确保操作可靠和一致。除了溅射能力外，还可以进一步加强UNAXIS Clusterline 300工具，增加用于基板清洁、预处理和现场监测等功能的工艺模块。这些可选模块可以无缝集成到工具体系结构中,从而使用户能够创建适合其特定需求的全面薄膜沉积解决方桉。总体而言,OERLIKON Clusterline 300是一项尖端的溅射资产,可为各种薄膜沉积应用提供无与伦比的性能、多功能性和可靠性。凭借先进的技术、模块化的设计、人性化的界面，Clusterline 300模型是寻求高精度、柔性薄膜沉积解决方桉的半导体制造商、研究机构和先进材料开发商的理想选择。