二手 PELCO SC 7 #9273009 待售

PELCO SC 7是由Semicore Equipment, Inc.作为其PELCO系列溅射工具的一部分开发的先进溅射设备。该系统设计用于半导体、光电子和MEMS（微机电系统）制造过程中的生产溅射。SC 7单元具有最先进的设计，使其成为各种表面溅射沉积的理想选择。本机可溅射金属、氧化物、氮化物、金属等材料。PELCO SC 7可用于在硅片、玻璃、PET等刚性和柔性基板上沉积薄膜。它配备了一个304系列不锈钢工艺室，其大小可以容纳四个2"晶片或两个5"晶片进行沉积。大型加工室为溅射各种尺寸和配置的基板提供了更大的灵活性。SC 7具有较高的沉积速率，能达到10nm/min的高效金属沉积。该工具还具有很高的污染水平，由自动调整资产进行监测，自动调整溅射过程的参数，使污染水平始终保持在较低水平。其内置的高级源限制模型（ASC）有助于保持底物的清洁和无污染物表面。PELCO SC 7是可定制的,具有多种调谐功能选项,如气流、目标角度、气体定时、电流和压力。设备还包括一个高效的电源模块，能够提供高达2000瓦的功率。这个电源是完全可调的，让它被精确调谐，以满足你溅射过程的具体要求。还有一个集中式真空系统，包括涡轮分子泵、质量流控制器和前泵，设计用于维持所需的真空环境并确保均匀的膜沉积。SC 7是一个通用的溅射单元，可用于多种应用和行业。它旨在提供一致和准确的结果，使其成为研发、工业制造和高科技电子的理想选择。PELCO SC 7具有先进的特点和可靠的操作，是需要精确高效沉积的溅射工程的绝佳选择。