二手 PERKIN ELMER 2400-8SA #153592 待售

ID: 153592
Sputtering system with (1) 12" target.
PERKIN ELMER 2400-8SA是一种提供卓越薄膜沉积性能的溅射设备。其应用包括生产用于半导体器件的薄膜、光学多层以及机器部件的硬质涂层。该系统设计的最大灵活性和可靠性,提供了广泛的定制基板安装配置和磁控管源为溅射沉积。该单元由一个真空室组成,可容纳多达8个同时沉积的基板。每个基板都安装在一个单独的安装座上,可以很容易地根据所需的角度和旋转进行调整。腔室配有孔径板,允许可变沉积角度。然后通过供油涡轮分子泵将腔室排空,保持在8 x 10-5 mBar的底压。溅射过程由电源和磁控管源驱动,可以设置为在直流、脉冲直流或射频操作中运行。根据来源配置,机器可以生产金属、金属氧化物、绝缘体甚至透明膜等多种薄膜。此外,磁控管源可以配备一个可选的旋转目标,允许更均匀的溅射沉积。采用各种过程控制和监测技术来确保一致和可重复的结果。室内测量压力和温度,实时监控磁控管功率和电压,确保对薄膜沉积过程的准确控制。2400-8SA工具是为便于使用和低维护而设计的。配备了直观的触摸屏界面,用户可以轻松快速浏览菜单和设置作业。此外,真空室设计方便,便于维修和清洁.总体而言,PERKIN ELMER 2400-8SA溅射资产是一种可靠、高性能的薄膜沉积解决方桉。其灵活性、易用性和优异的薄膜沉积性能使其非常适合广泛的工业和科学应用。
还没有评论