二手 PERKIN ELMER 2400 Series II #293798355 待售
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PERKIN ELMER 2400系列II是为薄膜沉积应用在研发中设计的溅射设备。它提供了多种高度可配置的溅射源以及从金属涂层到硅胶晶片金属化的各种应用选项。该系统配备了多显示器、多终端操作员面板,提供实时数据和对所有单元功能的控制。该机设计用于批量或连续操作,采用集成数字控制器自动控制溅射过程参数。2400系列II采用强大的陶瓷放电源设计,可提供高达0.2纳米/秒的沉积速率。该工具共有四个溅射阴极组件,可配置用于各种不同配置的涂层材料。该资产支持使用可配置的掩蔽和晶圆居中系统将溅射沉积到直径不超过24英寸的基板上。系统腔室采用石墨吸收器和涡轮分子泵的组合进行真空密封。腔室压力通过电容压力计持续监测,允许在溅射过程中精确控制压力。一种集成的气体入口特性使得向沉积室中注入的气体,例如氙气成为可能。该模型得到一个集成设备软件平台的支持,该平台允许各种过程控制功能。它提供了一个图形用户界面,用于实时监控关键过程参数和测试参数。还支持配方创建和存储等管理功能。PERKIN ELMER 2400系列II为薄膜沉积应用提供了卓越的可靠性和性能。凭借业界领先的可配置性和先进的系统功能,对于那些希望最大限度地提高研发能力的人来说,这是一个理想的选择。
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