二手 PERKIN ELMER 2400-SSA #9123997 待售
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ID: 9123997
晶圆大小: 2-8"
Physical vapor deposition system, 2"-8"
DC Magnetron cathodes
(1) RF etch station
CTI – 8 cryo pump
No mechanical pump
Power supply: 2KW
Power splitter for co-deposition.
PERKIN ELMER 2400-SSA溅射设备是一种用于材料沉积的先进实验室仪器.带电粒子向目标材料表面加速,与现有表面进行位移和原子合并,以创建超薄层配置。溅射系统被用于薄膜沉积,产生了许多工业应用,如微纳米电子、电介质和半导体具有改进性能的材料。2400-SSA单元是一个小巧和用户友好的溅射机结合容易设置和运输。它是人体工程学设计,在X-Y二维平面运动中操作。这允许创建半导体配置的精度和准确性。该仪器还具有升级为三维工具的能力,以便在复杂的设计上进一步精确。资产使用四口袋源溅射电源,提供多种溅射方法。此电源旨在提高材料沉积精度,可提供高达10 kW的全方位电源。电源还配备了最大溅射频率和高级电流目标程序员。该模型的精密软件允许用户调整表征参数,如底物温度、沉积速率和沉积功率。软件还包括能量综合容量功能,使用户能够使用特定的电荷、电流和电压设置来个性化沉积参数。这一特点导致了一个超精细的表面光洁度与可靠的材料沉积一致性。PERKIN ELMER 2400-SSA溅射设备是一种多功能仪器,能够在较高的温度梯度下进行多位置溅射。它是需要利用薄膜沉积的工业应用的理想工具。该系统具有减少污染的气密设计、高容量真空室和先进的控制器,在生产过程中提高生产率和管理工件。此外,对于需要先进溅射能力的各种工业项目,2400-SSA单元是一个经济高效且易于使用的解决方桉。
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