二手 PERKIN ELMER 2400 #9022812 待售

PERKIN ELMER 2400溅射系统是世界领先的溅射工具，为薄膜、纳米结构和基板上的多层堆栈提供精确的沉积层。它非常适合各种应用，从精密涂层到制造光电和基于MEMS的设备。它具有坚固、高通量的设计，能够在高沉积速率下实现均匀溅射，精度和精确度。该机配备了可变面积的锁载室，可容纳直径达200毫米的基板，以及能够溅射多种金属和广泛合金的多个行星目标。目标安装在获得专利的无溅射直流电源上,该电源可同时驱动最多六个配备独立射频源的目标。高压直流电源与射频发生器耦合,可在大面积上实现高度均匀的涂层,并且在目标温度高达400 °C时具有较高的沉积速率。2400具有温度相关的过程控制能力,能够沉积纳米结构、薄膜堆栈和其他质量一致且可重复的材料设备。使用分辨率± 0.1°C的高温计监测温度均匀性和可重复性。先进的射频工艺监测提供了对底物温度的实时反馈，以确保最佳的底物清洁和沉积结果。该系统还采用垂直溅射技术,采用可实现3D涂层的落地端效应器。它配有车载可编程脉冲发生器，可用于改变脉冲频率和宽度轮廓，以获得最佳涂层效果。室内的扫描电子显微镜可用于现场监测沉积过程。PERKIN ELMER 2400的设计可容纳多达九种不同的卡口安装踏板，这些踏板配备了样品装卸、基板处理和沉积所需的各种工具。该系统还具有直观的图形用户界面,并提供完整的计算机辅助制造（CAM）控制和完整的软件兼容性。2400是高性能溅射应用的理想解决方桉,可提供卓越的精度、可靠性和吞吐量。