二手 PERKIN ELMER 2400 #9140537 待售

PERKIN ELMER 2400是一种主要用于材料科学领域的溅射设备。它是一种功能强大、用途广泛且价格合理的工具,用于将薄膜沉积到基板上。该系统包括一个包含多目标溅射源的紧凑外壳、一个真空室、一个低温冷却的基板级、一个可变压力气体箱和一个溅射气体箱。真空室提供了一系列的压力水平和多达六个脉冲沉积源。低温冷却的基板级可以容纳尺寸从75 x 75mm到200 x 200 mm不等的基板。溅射过程从疏散/除气阶段开始。这包括将腔室下泵至10-4 Torr左右的压力进行沉积。然后使用电阻热级将基板加热到所需温度，并通过气体箱将溅射气体溷合物输送到溅射源。这种气体使用一系列快速直流脉冲脉冲进入腔室。这些脉冲产生高能粒子，用于进行溅射沉积。最后，装置中的目标植入惰性气体，用高达10 Killovolts的电压电离和轰击。这种轰击产生了一阵高能粒子，将物质从目标上溅出并沉积到基板表面。溅射材料通常在表面的几微米内停止,但可以根据应用进行定制。2400可以沉积多种薄膜，包括氮化物、氧化物、碳化物、金属合金和介电膜。所有溅射都是在过程参数恒定的受控环境下执行的，从而能够精确控制薄膜厚度和组成。这台机器还兼容原位和非原位分析技术，包括各种形式的电子光谱和显微镜。PERKIN ELMER 2400是研究设施中薄膜沉积的理想工具,因为它提供精确的控制和广泛的兼容性。这种先进的溅射资产易于操作、可靠且经济实惠，使其成为任何寻找优质溅射模型的人的理想选择。