二手 PERKIN ELMER 4410 DC #9183220 待售

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製造商
PERKIN ELMER
模型
4410 DC
ID: 9183220
Plasma sputter system P/N: 222-226-310 Gases: O2, Ar, Ni, Si3N4, Cu, Ag, Au, Ti, Si, Ni, SiO3, Al Currently de-installed.
PERKIN ELMER 4410直流溅射设备是一个强大的薄膜沉积系统,设计用于需要沉积薄膜材料的应用,如金属、氧化物、半导体和陶瓷。它提供了广泛的沉积源,包括直流电和射频溅射源以及离子束源。该机组的特点是坚固耐用,运行成本低。4410直流溅射机可单次沉积厚度达2 μ m的薄膜,采用直流或射频溅射工艺沉积导电、绝缘或半导体薄膜。这种用途广泛的资产可以服务于照片掩蔽、医学诊断、半导体制造和计量等应用。溅射模型使用高度可靠、寿命长的溅射源来提升过程稳定性,通过高效的涡轮分子泵送设备进一步改进,以维持室内有利的气氛。在安全方面,系统配备了双模工艺安全和应急快门。PERKIN ELMER 4410 DC的另一个吸引人的特点是其集成、易于使用的过程控制器。使用直观的用户定义过程控制语言,用户可以配置设备参数并从任何地方远程控制。在2x10-7 Torr的最大底压下,4410 DC在薄膜沉积中达到均匀性。该机还集成了先进的外部控制,包括温度控制精度优于0.1°C/min(带PID闭环)和薄膜速率,间距精度± 0.05nm/min。PERKIN ELMER 4410直流溅射工具是需要高精度、高速、经济高效的薄膜沉积应用的理想解决方桉。其可靠、坚固的设计和优异的性能使其成为工业薄膜沉积应用的理想选择。
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