二手 PERKIN ELMER 4410 #293805512 待售

PERKIN ELMER 4410是为薄膜沉积而设计的溅射设备。该系统设计用于金属、液体淬火、陶瓷氧化物和金属间化合物的平衡高效蒸发、溅射和氧等离子体沉积。设有四个阴极和两个电子束源，用于沉积和蚀刻。4410采用双腔室设计，包括工艺腔室和差动泵送腔室。该装置提供四个带有直接和脉冲源的阴极，用于金属蒸发、溅射和氧等离子体沉积、液体淬火、陶瓷氧化物和金属间化合物。这台机器还包括一个外部的偏压差速泵工具，允许对工艺室内的大气进行精确的控制。它还包括一个微型锁阀机构，以允许有选择地排出腔室。资产的溅射源具有直接溅射、离子轰击和级联沉积等先进的操作模式。为了提供质量最高的薄膜，该型号配备了两个E光源。这些源在广泛的能量范围（0到6kV）上运行，具有各种加速减速和脉冲宽度的选项。数字深度控制器提供了对溅射膜的精确深度控制。电子束源还包括用于蚀刻前和蚀刻后过程的真空烘烤设备。该系统还包括一个自动样品更换器，用于在多个基板上自动沉积薄膜。PERKIN ELMER 4410包含一系列安全功能。该装置包括s t w o s s t a g e热交换器和编程温度控制机，用于过程中的精确温度控制。该工具还包括一个单级涡轮泵，在工艺室提供高达5毫巴的分压。此外,在模型发生故障时,该资产还具有自动关闭功能.为确保准确性,4410配备了强大的控制器。该控制器具有图形用户界面和触摸屏,易于编程和操作。控制器还通过车载PC对设备参数进行实时监控。该系统还包括一个校准单元，用于控制功率和电压，以实现基板上的最佳沉积。控制器还可以方便地输入食谱。PERKIN ELMER 4410提供坚固的设计,具有出色的溅射沉积和蚀刻特性。该机器包括先进的来源和一系列的安全功能，以产生一致的高质量薄膜。此外，控制器还能对刀具参数进行精确的实时监控。这种资产非常适合在各种基质上沉积各种材料。