二手 PERKIN ELMER 4410 #9248755 待售

PERKIN ELMER 4410是一种高效溅射设备，设计符合物理气相沉积中最严格的标准。4410在单个系统中提供高速和低温溅射沉积，能够在一系列基板上形成薄膜涂层。该单元的腔室尺寸为125英寸x 72英寸x 14英寸，允许大方的基板尺寸进行处理。该腔室还设计有6个He气口和2个H2O歧管，设计用于非反应性气体的横截面沉积。连接到真空室的是两个溅射源之一，允许一个范围的溅射速率跨越一个范围的过程时间。这两个溅射源设计用于直流电和射频溅射沉积。两个源都有一个基于反向偏置发生器的电弧控制和一个内部电弧检测器机器，允许对操作进行精确控制。位于腔室内的是样品温度和水温传感器，以及具有可调夹紧力的静电卡盘。这可以让使用者以实验的方式研究各种薄膜的沉积。为了加强控制，该工具还包括数据采集和自动化资产。该模型允许用户与流程进行交互，监控真空数据，并控制样品的原位位置。此外，设备还提供了一系列工艺分析选项。该系统还具有提高速度、灵活性和准确性的功能。这包括一个便于样品定位的速载磁控管x-y表，一个用于工艺终端的电压监视器和一个全溅射室屏蔽。这种设计有助于最大限度地减少气体扩散，同时为阴极提供全面保护，从而实现高溅射速率、速率稳定性和最大工艺均匀性。PERKIN ELMER 4410的另一个有益特性是其直观的基于图形的图形用户界面，使其易于导航和控制溅射过程。此外，该单元提供了丰富的过程历史参数和质量控制数据，使用户能够实时监控沉积过程。4410是高速率、先进薄膜沉积的理想选择，提供快速加工和卓越性能。PERKIN ELMER 4410具有直观的控制、高精度和可靠的操作标准,能够满足最苛刻的溅射要求。