二手 PERKIN ELMER 4450 #9113778 待售

製造商
PERKIN ELMER
模型
4450
ID: 9113778
优质的: 2000-2005
Sputtering system TaN process Omron PLC Control (2) Gas (2) Delta target (1) AE MDX-5 PS CT-8 Cryo pump Pallet, 6" No etch, LL heat Currently installed 2000-2005 vintage.
PERKIN ELMER 4450是一种用于薄膜沉积应用的溅射设备。该系统包括单源磁控管溅射和电子束蒸发。溅射源直径16英寸,由不锈钢靶标、石墨电枢和磁铁电源组成。蒸发源有三个加热单元,每个单元都配有灯丝电源,配有加热的灯丝,用于电子束蒸发。该单元提供了许多可控参数来控制进程。溅射源功率、灯丝功率、目标与基板的距离、电流与偏置都可以调节。蒸发源由三个单独的加热单元组成,可单独操纵,可串联或并联使用。加热装置和几何构型的功率也可以调整。该机设计有安全功能,以防止过热。它设计接受大多数常规类型的真空泵,并配有温度传感器、压力传感器、真空线、LED显示屏和控制板。也可以使用标准以太网连接远程操作。除了标准的溅射工具外,4450还附带了几个可选配件。其中包括溅射涂层、基板加热元件和基板支撑资产。溅射涂层设计为均匀速度的均匀溅射材料,而基板加热元件则用于在蒸发过程中帮助保持整个腔室的均匀温度。基板支撑模型提供了精确的基板对准和安装,允许精确的薄膜沉积。PERKIN ELMER 4450是为薄膜应用沉积而设计的可靠高效的溅射设备。它的多功能性使得它适用于一系列的应用,包括介电、有机和金属薄膜沉积。它具有众多的控制功能,可以对过程进行精确的操作,而各种可选附件提供了额外的灵活性。
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