二手 PERKIN ELMER 4450 #9190161 待售
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ID: 9190161
Sputtering system
(4) Target systems
Round target, 8"
RF Target
(3) DC Targets
Load lock pallet, 24"
Data logging
Recipe control
Remote operation
Color touch screen
Jennings vacuum: 5kW
Optical shutter position sensors
Simplified sputter head design
Industrial PC
Water / Pneumatic distribution box
Electro polished chambers
VAT Throttling gate valve
Keyboard
Vexta precision table motor
Controllers
Oil free scroll type mechanical pump
Color coded air
N2
Water lines
Mass flow controller
Residual gas analyzer
Quick disconnects
Mounted rails for easy access
Touchscreen display
Process logic controller.
PERKIN ELMER 4450是一种高端氢化物溅射系统，旨在以受控和均匀的方式将金属或合金薄膜沉积到基板上。常用于半导体、磁性器件、光学等电子元件的製造。该系统由几个组件组成：一个腔室、一个基板支架、一个电源、一个蒸发器、一个快门机构和一个射频发生器。腔室由两个不锈钢壁组成，并被密封以保持真空。基板支架安装在腔室上，用于固定正在处理的基板。电源用于向腔室提供恒定电压和电流，并在运行过程中予以支撑。蒸发器用于蒸发要溅射到基板上的材料。快门机构用于控制材料何时汽化。最后，射频发生器用于提供使汽化材料偏转到基板上的电子流。一旦材料汽化，基板支架被放置在腔内，然后产生真空。射频发生器用于在腔室内部产生电场,并产生电子束,使材料从基板表面溅出。这个过程重复数百次，直到达到所需的薄膜厚度为止。使用溅射技术的优点是允许将均匀的材料层沉积到基板上，然后可以进行图样化或涂覆。此外,该工艺还可用于制造具有优异电气、光学和机械性能的高性能、耐用材料。4450可用于许多不同的应用，包括创建高质量的半导体元件、磁性材料、光学镜面、镜面涂层、内存设备等等。此外，它还可以用于研究和开发目的，因为该系统可以产生更精确和均匀的层，溷合不同元素和化合物。
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