二手 PERKIN ELMER 8567 #9184892 待售

PERKIN ELMER 8567溅射设备是用于表面制备、薄膜沉积和真空涂层应用的先进工具。该系统由多目标双阴极行星溅射涂层、1600W直流电源、控制器和真空室组成。双阴极溅射装置对目标位置、溅射功率、腔室压力、溅射气体流量等工艺参数提供全面控制。使用这些参数，用户可以改变薄膜沉积的膜厚度、表面积、均匀性和其他参数。离子源是靶上的一个"暗点"，在沉积前可以对表面进行有效的离子清洗。该单元的高度可编程控制器可用于设置所需表面制备和沉积过程的配方，而自动化过程监视机器则允许对过程参数进行连续监控。该工具具有独特的内部反应性等离子体源，可用于氧化物或氮化物层沉积等反应性溅射过程。反应性等离子体源可以在没有任何额外设备的情况下沉积高质量的薄膜。该资产的真空室设有高效低噪声涡轮分子泵和机械夹紧基板加工的机器人臂。机械臂高度精确，可用于将晶片和基板精确定位到沉积过程的确切位置。该型号还有广泛选择的附件如燃气搅拌机、UV-ODE源和涡轮压力表，可用于各种沉积技术。8567溅射设备是薄膜沉积和表面制备应用极为强大可靠的工具。它非常适合原型设计和研究应用,提供对表面特性的精确控制和广泛的工艺功能。