二手 PERKIN ELMER ICP 5300DV #9224906 待售

PERKIN ELMER ICP 5300DV是一种用于材料加工和制造业的最先进的溅射设备。本机用于各种电子、光电和光伏器件制造中常用的薄膜材料的沉积。溅射系统由6轴机械臂组成，用于提供高度的样品均匀性和过程均匀性。溅射装置能够高精度、高精度地沉积薄膜层。低表面粗糙度的沉积速率可达0.02 nm/秒。机器采用多个溅射源，可以涂覆厚度均匀、均匀的大基板。它还包括用于取样和更换的机械臂。溅射工具设有气体和流体控制单元，为气体提供可变压力和流量。这对于保证均匀的薄膜沉积非常重要。该资产还包含一种惰性气体（氙气），其流动可以被控制，以减少气体损失和防止底物氧化。ICP 5300DV模型是一种用途非常广泛的设备，提供高速率蒸发、离子溅射蚀刻、沉积可调气压范围为0.01-20 Torr的薄膜等一系列工艺能力。它还包括一个能够提供高达5,000伏的可调电压输出和5,000瓦的最大功率的电源。使用PERKIN ELMER ICP 5300DV时要考虑的最重要因素之一是安全做法。该系统具有安全功能,如紧急停止按钮、自动紧急关闭和惰性气体外壳设计,可消除潜在的火灾和爆炸风险。它还包括一个展位，以容纳任何从蒸发过程中逸出的气体和颗粒。总体而言，ICP 5300DV是一种可靠的溅射装置，具有极好的薄膜层沉积能力。其特点提供了流程灵活性、方便用户的控制以及安全、清洁和高效的材料加工环境。