二手 PERKIN ELMER Randex 3400 #9115270 待售

PERKIN ELMER Randex 3400是一款设计用于各种半导体制造应用的高性能溅射设备。该系统能够在基板上生产各种材料的均匀一致的薄膜涂层。它配备了许多独特的特性，使其非常适合大批量生产，包括自动溅射速率控制和车载晶圆直径编程。该单元的核心是它的单阴极脉冲直流溅射源，它允许反应涂层和非反应性涂层。高功率电源能够在各种基板上保持较高的溅射速率，并配有电弧屏蔽装置，以防止过度损坏。Randex 3400采用先进的双模坡道控制机，自动优化溅射速率，最大精度薄膜生产。它配备了Peak Power Monitor,可连续监控电源的性能,确保始终保持高质量的薄膜。先进的峰值功率调节工具确保涂层领域的微小变化得到快速准确的调节。该资产包括许多高级功能,例如用于均匀一致脉冲功率的高热稳定阴极设计,以及用于即使在高温下也能保持稳定溅射速率的高温可烘烤屏蔽设计。该型号还配备了高容量冷冻泵和用于改进晶片负载的高容量负载锁。PERKIN ELMER Randex 3400旨在满足苛刻的半导体制造要求。它通过自动控制源电源以获得最佳性能来确保高精度涂层,从而实现均匀一致的薄膜。设备也非常可靠和耐用，占地面积小，运营成本低。它的灵活性和性能使其成为满足半导体制造需求的理想选择。