二手 PERKIN ELMER / RANDEX 3410-6J #9275483 待售

PERKIN ELMER/RANDEX 3410-6J是一种多目标溅射设备，能够同时蒸发多种材料。适用于各种应用的薄膜沉积，包括平板显示器、光学涂层、封装。该系统具有高真空多层磁控管溅射源，利用磁场将离子引向基板材料，形成薄膜。它使用四个沉积源，两个6英寸目标和两个4英寸目标。6英寸的目标可用于直径不超过6英寸的基材。4英寸的目标可以用于较小的基板。该装置还配备了一台原位直流监测机，用户可以实时跟踪和记录其沉积过程。一个集成控制器操作工具的主真空和辅助旋转泵以及控制源。控制器还充当现场直流监测资产的接口，允许在过程的任何时刻进行测量。该模型包括一个内部载荷锁，它允许样品的变化进行，而不会失去真空。内部负载锁还配备了自动化的样品处理设备，使基板从一个位置更容易更换到另一个位置。该系统能够溅射不同的材料，包括金属、合金、氧化物和氮化物。它包括多目标功能，允许创建复杂的薄膜结构。它还包括一个平面机源配置和一个双等离子体源配置，允许不同的膜密度和厚度在同一沉积作业。该装置能够使铝上的溅射沉积速率高达6纳米/秒，硅上的溅射沉积速率高达1纳米/秒。其低于2 × 10-10 Torr的底压允许非常好的真空性能。该机器还能够均匀沉积导电膜和非导电膜。该工具人性化，包括机械互锁、开室检测、闭室检测、电子断路器等多种安全功能。资产还配备了许多其他功能，包括释放和重新加压腔室时的综合清洗。RANDEX 3410-6J是需要能够精确薄膜沉积的多目标溅射模型的用户的理想选择。其先进的技术和先进的安全功能为用户提供了一个高效的解决方桉，以满足他们的薄膜沉积需求。