二手 PLASMA QUEST S5000 #293671000 待售

PLASMA QUEST S5000是一种溅射设备，是一种真空沉积设备，设计用于将材料薄膜沉积到基板上。该系统能够在高真空条件下处理基板和目标，还具有可选的低压工艺室，可用于低压沉积应用。S5000溅射装置由高质量的材料和部件构成，在加工过程中提供优异的性能。机器由四个独立的腔室组成，包括一个超高真空腔室、一个高真空涂层/溅射腔室、一个等离子腔室和一个工艺腔室。真空室由不锈钢构成，额定真空水平高达1 x 10-9 Torr。溅射阴极由钨制成，由交流电源供电。溅射枪的设计允许对目标和基板定位进行独立控制，从而能够将目标材料精确地放置在晶圆上。该工具还配备了射频等离子体发生器和等离子体监测资产，用于更精确的沉积和控制。PLASMA QUEST S5000凭借其多室设计和可选的低压工艺室，用途广泛。这允许广泛的材料加工应用，包括溅射沉积、氧化、氮化和扩散。该模型提供多种工艺配方，能够处理导电材料和绝缘材料。该设备还可用于广泛的批量和单片加工应用。S5000易于使用和维护。该系统配有全面的用户手册和在线支持，因此操作维护直截了当。该设备还具有多种诊断和安全功能，如电弧腐蚀防护和超温关闭。该机还具有较低的噪声水平和较低的工作温度以获得最佳性能。总之，PLASMA QUEST S5000是一种先进的溅射工具，为各种薄膜沉积工艺提供了卓越的性能和精度。资产由优质材料和构件构成，使用和维护简单。S5000采用多室设计和多种工艺配方，是制造高质量薄膜的理想选择。