二手 PLASMA SCIENCES Arc #9012320 待售

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製造商
PLASMA SCIENCES
模型
Arc
ID: 9012320
Automated research sputter coater Not currently operational.
PLASMA SCIENCES ARC是一种溅射设备,用于将薄膜沉积到各种基板上。这种先进的沉积技术利用磁强化的氙气,创造出高度均匀的溅射过程。与传统的溅射系统相比,电弧能够生产具有独特物理和化学特性的薄膜,适合各种工业应用。PLASMA SCIENCES ARC由一个腔室、阴极和阳极组成。阴极通常嵌入反应器内部,而阳极则延伸到室外,并包含磁场线圈。的过程气体使用的是氙气和反应性气体的溷合物。磁性线圈在腔内产生一个强大的磁场,这种磁场会将氙离子的能量集中到一个高能的小点上。这种增加的能量提高了溅射效率,有助于制造厚度均匀的高质量薄膜。电弧可以将薄膜沉积到各种基板上,包括陶瓷、金属、有机聚合物、半导体和玻璃材料。薄膜沉积在低温环境中,通常低于30C,这有助于最大程度地减少对基板的热影响。该系统生产的薄膜高度保形,具有低颗粒污染,非常适合半导体和光学器件的生产。PLASMA SCIENCES ARC能够沉积导电和非导电材料,如氧化物、氮化物和金属。Arc提供了若干附加功能,包括自动化的过程控制单元、集成的端点检测机和可靠的安全联锁。这种先进的工具具有很高的溅射速率、均匀一致的薄膜沉积,并且能够为各种应用生产高质量的薄膜。其低温沉积和与各种基板的相容性,使其成为生产先进电子和光学器件的绝佳选择。
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