二手 PLASMATHERM / UNAXIS Clusterline 300 #9123065 待售

PLASMATHERM/UNAXIS Clusterline 300是一种可靠和先进的溅射设备。它是磁控管溅射沉积薄膜金属、绝缘和半导体材料的综合系统。该单元设计用于一次处理四个8"基板，或两个12"基板。其紧凑的设计使其能够提供卓越的性能和成本效益。该机采用自动化材料沉积工艺，采用数值PLC控制工具进行智能监控。利用优化的基底运动和先进的工艺参数控制。此外，该资产还配备了双磁控管源，以确保物料沉积均匀。该模型还包括用于改进步进覆盖的旋转辅助和溷合（等离子体）源。UNAXIS Clusterline 300还配备了广泛的综合源材料和基材。这包括金属、绝缘体、光学涂层和PECVD-聚合物。该设备还配备了先进的温度控制系统，并配备了先进的温度监视器，可确保整个设备的温度准确稳定。PLASMATHERM Clusterline 300还配备了创新的先进基板清洗机，确保了最高质量的薄膜沉积。该工具还可减少进纸、污染和阴影,同时确保所有四种基材的厚度均匀。此外,该资产还配备了用于实时薄膜监控的高级准总反射计（QTTR）。Clusterline 300是一种灵活高效的模型，为薄膜沉积提供了最高的生产率。可靠，性价比高，机器寿命长。