二手 QUANTUM INNOVATIONS Mercury 4 #177173 待售

QUANTUM INNOVATIONS Mercury 4是一款高效溅射设备，非常适合广泛的材料和应用。设计注重热效率、耐用性和易用性，是生产、研发的理想选择。Mercury 4的核心是其溅射阴极，具有真空密封检流计和用于精确、低真空溅射的强大磁控管源。阴极的高功率和溅射速率即使在使用重金属和其他难以溅射的材料时也得以维持，确保了坚固的性能和可靠的结果。该系统配备了杜瓦冷却目标室，以确保整个溅射过程的精确温度控制。这样可以确保目标材料在加工过程中不会损坏。此外，QUANTUM INNOVATIONS Mercury 4还包括腔室的真空密封，以及能够在标准配置中排出超过500L/min的水冷墙和真空泵。Mercury 4的高精度控制确保了精确、可重复的结果。该单元能够遵循复杂的多层配方，始终保持直流和射频偏置，可与高密度和熔点金属、有机、有机/无机杂种、高温超导体等多种靶材配合使用。QUANTUM INNOVATIONS Mercury 4有多个安全功能到位，包括防漏疏散的闸门阀、开启闸门阀时关闭放电电压的自动联锁以及电源故障保护机。此外，该软件还具有一系列安全和保护功能，例如安全启动----每个周期开始和结束时的许可请求，在进程开始之前必须予以确认；更改控制参数前的目标重置延迟；在过程周期结束时自动控制腔室压力；和自我配置参数。总体而言,Mercury 4提供了动力、可重复性和安全性的完美结合,使其成为各种材料和应用的理想选择。