二手 QUORUM TECH / BIO-RAD / POLARON E-5100 #9185072 待售
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Quorum TechnologiesQUORUM TECH/BIO-RAD/POLARON E-5100是为高级研发应用而设计的先进溅射设备。该溅射系统旨在为用户提供薄膜沉积和蚀刻领域的最大通用性。BIO-RAD E-5100提供扁平和圆柱形腔室,并根据需要增加构建高度,以实现多种工艺技术。这包括几种类型的磁性和射频溅射,离子植入和清洁,和阴影。标准的在线过程控制单元可确保对机器的所有过程和参数进行监控和记录,以便进行精确分析。该工具还包括可编程自动提升源等功能,使用户可以轻松地移除使用过的材料。氧化铝衬里在清洗时也能保证较高的等离子体密度。可以使用数十种不同的阴极配置,让各种涂层材料被溅射。整体磁屏蔽确保样品不会受到资产磁场的不利影响。POLARON E-5100专为不同的目标配置而设计,可处理高达2微米厚的薄膜。为确保薄膜覆盖均匀,可以使用广泛的光学隔离屏蔽和导流板。运行溅射模型所需的电源是可调的,用户可以根据自己的工艺需求完全定制设备。E-5100有两条集成气体管线,控制模块允许用户设置低至3mBar的压力。为了有效的溅射后处理,包括了专门的化学蚀刻系统。Quorum TechnologiesQUORUM TECH E-5100是一个可靠的溅射单元,提供卓越的寿命和性能。它结合了通用的过程控制、广泛的屏蔽和强大的硬件,使其成为各种薄膜应用的理想选择。它溷合了质量元件和高精度调整选项,是先进研发的理想选择。
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