二手 ROBUST 300 #293596982 待售
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ID: 293596982
晶圆大小: 12"
PVD Sputtering system, 12"
Chamber
Chiller
(2) Loadports
(5) Pumps
Robot
RF Generator rack
Voltage box.
ROUBT 300是一种工业级溅射设备，旨在可靠地提供具有严格控制和准确性的沉积率。该系统具有强大的三目标直流溅射源，可用于将物料层沉积在几纳米薄的基板上。由于集成了变频驱动器,该单元可以在广泛的温度范围内运行,并且可以处理高达600°C的温度。它由可编程逻辑控制器（PLC）控制，对于可重复的过程可以完全自动化。该机由工艺室、涡轮分子泵和三目标磁控管溅射源组成。整个基板或工件采用一对分级阻抗、全磁控管入射、多脉冲光源，专门设计用于最大程度地提高工艺均匀性。涡轮泵有助于确保高效节能的真空质量。三目标磁控管溅射源是300的心脏，具有强大的工具配置，能够产生高能离子轰击和提供均匀膜粘附。此外，该工艺室还配备了噪声抑制机制和无干扰操作，非常适合在恶劣的工业环境中使用。资产可靠性高、使用方便，其鲁棒性设计使其成为高精度涂层要求的可靠选择。该型号自推出以来就经过了ASEP认证，保证了准确性、化学和物理稳定性以及设备寿命。此外,RUBIT 300可以与各种附件和软件集成,从而可以自动控制整个溅射过程。综上所述，300是一种可靠而强大的溅射系统，旨在满足工业应用的严格要求。具有噪声抑制单元、高效涡轮泵、ASEP认证机器等特点，为工业用户的高精度涂层需求提供了可靠准确的解决方桉。
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