二手 SEMICORE / MRC SEC-643 #9250939 待售

SEMICORE/MRC SEC-643是为半导体沉积应用而设计的金属有机化学气相沉积（MOCVD）溅射设备。它配有四个高性能肖特基离子源，能够实现高速率沉积。该系统具有多功能电源配置,可提供最大程度的控制和灵活性。它能够为一系列沉积技术提供高达450 W的功率。MRC SEC-643配备了两个大型目标平台，可同时沉积多达四层薄膜。另外,目标可以在任何方向旋转,以获得最大的保形增长。该装置还具有可调节的腔室压力控制，允许最佳工艺条件，确保最高质量的薄膜。SEMICORE SEC-643机还为沉积过程提供了1类清洁环境。该工具包括蒸气捕获资产、力流模型和高容量过滤设备。蒸气捕获系统可确保最小的蒸气损失，而力-流单元则可确保室内空气通过高效颗粒状空气（HEPA）过滤器过滤。高容量过滤机包括深褶皱过滤器，以及深层活性炭过滤器。SEC-643工具包括一种超低振动鲁棒负载锁，用于可靠、清洁的腔室负载和高效的样品交换。它易于启动和维护,确保最小停机时间。该资产还具有直观的触摸屏HMI和一系列配方控制选项,包括嵌入式配方和性能分析算法。SEMICORE/MRC SEC-643溅射模型是一种可靠高效的半导体高分辨率沉积设备。它具有多种多样的电源配置、可调节的腔室压力控制和坚固的负载锁定，为各种沉积技术提供了卓越的性能。