二手 SHIBAURA SWN5000 #293634649 待售

製造商
SHIBAURA
模型
SWN5000
ID: 293634649
晶圆大小: 6"-8"
Sputtering system, 6"-8" Control unit.
SHIBAURA SWN5000是一种用于半导体工业生产薄膜晶片的溅射设备。溅射是将薄层沉积在玻璃、塑料或陶瓷表面等基板上的过程。溅射过程用于电子微电路、光学器件、医疗植入物等微晶片。SWN5000是一种高精度溅射系统,带有8相电源和高分辨率直流电源控制模块。这样可以确保溅射涂层具有均匀的沉积速率,从而在基板上形成均匀的材料层。SHIBAURA SWN5000的控制单元还允许广泛的脉冲溅射条件,可以根据所需的材料和涂层的厚度进行调整以提供不同的结果。该机还具有很高的精确度,可以用来产生非常小、精确的图桉和其他复杂的形状。SWN5000使用线形磁控管溅射阴极和独立的边缘型屏蔽电极。这类构造允许更均匀的溅射,以及在长宽比较高的区域更精确的沉积。而且,该工具可以产生一系列脉冲持续时间、脉冲功率和脉冲频率,以实现不同的膜沉积模式。SHIBAURA SWN5000装有一对陶瓷涂层的石英crucibles,可用来盛放要溅射的目标材料如金、铵、铝或钨等。它还有一个压力控制阀、温度传感器和温度控制单元,允许用户调节空腔的压力和温度,以确保一个一致和可靠的过程。SWN5000具有广泛的安全功能,例如水冷和互锁,以防止不必要的篡改。它还附带一个排气歧管来疏散空气中的粒子。总体而言,SHIBAURA SWN5000是溅射涂层薄膜晶片的高效、安全和可靠的资产。其先进的功能使用户能够通过广泛的目标材料和基板实现高精度的结果。
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