二手 SHOWA SHINKU SPH-2019F #9078362 待售

SHOWA SHINKU SPH-2019F是一种用于薄膜沉积应用的溅射设备。它是一种经济高效的解决方桉，可提供金属或半导体薄膜在太阳能电池或液晶显示器等大型基板上的高质量沉积。溅射系统配备了高性能、直流电/磁控管溅射源，能够溅射金属、合金、电介质和氧化物等多种材料。该电源具有高达500 W的可调输出功率和三种不同类型的射频功率稳定电源，具有优异的薄膜沉积质量。该单元还包含一个高真空室，该室配有一个无栅极线性平移级，能够移动直径达200毫米的基板。整个机器能够达到低于6 × 10-3 Pa的工作压力和6 × 10-6 Torr的真空水平。为了便于流程控制,该工具包括一个流程控制器,可设置和监控多达350个流程参数。该控制器具有Windows 7操作资产、直观的图形用户界面、内置的光学编码器以及实时的沉积速率监视器。此外，该型号还配备了可编程温度控制器，用于精确的温度控制，而设备也可以根据客户的要求进行改装，以包括额外的模块和传感器。SPH-2019F还提供了极佳的薄膜沉积均匀性，平均尺寸± 0.2 μ m，沉积速率高达150 nm/min。该系统还提供了90-95%的绝佳步进覆盖率,厚度可达200 nm的薄膜可实现卓越的质量。总的来说,SHOWA SHINKU SPH-2019F为薄膜沉积提供了经济高效的高质量解决方桉。凭借其通用的设计、精确的控制能力和高性能的溅射源，是各种应用的理想选择。