二手 SHOWA VACUUM SPH-3022 #293649684 待售

SHOWA VACUUM SPH-3022是为薄膜沉积在各种材料上而设计的溅射沉积系统。它是一种双源溅射沉积系统，具有独特的源沉积和基底沉积设计。来源为电磁悬浮转子（E-Rotor），底物为阳极氧化铝室。E-Rotor设计用于将单一材料或多层材料沉积到基板上。E-Rotor设计有两个同心转子，每个转子以恒定速度旋转，产生气相基板沉积反应。E-Rotor可以编程为沉积材料和厚度不同组合的薄膜。阳极氧化铝室在溅射过程中容纳基板。它的设计目的是提供最佳的底物-源分离和温度控制，以维持所需的温度和沉积条件。该室还容纳样品支架，根据所需薄膜的长度和数量，每个沉积周期最多允许两个样品。SPH-3022种溅射沉积系统提供了在各种沉积条件下在不同基质上精确沉积薄膜的能力。其独特的源和基板沉积设计允许沉积不同材料和厚度组合的薄膜。阳极氧化铝室保持最佳的底物到源分离以及所需的温度，而样品持有者允许每个循环最多两个样品。SHOWA VACUUM SPH-3022为需要高度控制溅射的工业应用提供了宝贵的工具。