二手 SLOAN SL 1800-S #70881 待售
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ID: 70881
Automated DC sputter gun system. This system includes 3 sputter gun heads with Sloan Model SP 2/5 2kw power supply. The two part process chamber is l8" dia with the lower ss portion 11" deep, while the upper Pyrex collar and plexiglass implosion cage adds 6" to the overall depth. The pumping system consists of a Varian VHS6 diffusion pump rated at 2400 l/s, integral LN2 trap with controller, electropneumatic valves with Sequentorr II sequencer, ion gauge and a Welch 1397-17.7 CFM mechanical roughing pump. A Sloan Model DDC500 digital deposition controller with 3 sensor heads, shutter control and horizontal planetary are also included.
SLOAN SL 1800-S溅射设备是一种用途广泛、功能强大的工具,适用于一系列表面涂层应用。该系统能够使用不同的溅射技术沉积各种材料，用于需要精确控制的过程。溅射过程本身包括用来自电子束的高能离子轰击目标材料来蒸发目标材料。这导致目标材料产生细粒状原子，然后通过腔室气体，沉积到基板表面。这种溅射装置具有一个直径18英寸的钟柱式腔室，这有助于最大限度地提高沉积均匀性和覆盖整个基板，因为它旋转。它还具有对基板温度、压力和可调沉积速率的精确控制，允许高质量均匀涂层的沉积。SL 1800-S允许直流、射频或脉冲溅射以及射频蚀刻。该机包含了多种工艺气体能力，如氙气和其他气体。压力可以精确控制，使其成为需要精确控制溅射速率的过程的理想选择。高级控制器还用于调节溅射过程，允许精确和可重复的结果。除了SLOAN SL 1800-S强大的沉积能力外，还允许基板操作。这包括移动和倾斜基板的能力，以及旋转和改变基板角度相对于溅射目标的能力。基板的旋转有利于保证涂层的均匀.SL 1800-S是广泛表面涂层应用的绝佳选择，如溅射涂层、离子辅助沉积或陶瓷层产品。精密的工艺参数控制和工具的多功能性使其成为以合理的速度生产优质涂料的理想选择。SLOAN SL 1800-S是一种经济高效、高性能的资产，是现代涂层应用的完美工具。
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