二手 SPTS / STS / TRIKON Sigma FxP #293824623 待售

ID: 293824623
晶圆大小: 6"
PVD System, 6" Brooks MX 800 Handler (2) Cassettes (2) Vacuum cassette elevators Aligner Topcooler BROOKS Robot with dual arms Metal blades TURBO BALZERS TMH260 Vacuum cassettes Handler HSE Module (3) Dep Modules Configuration: CTI onboard cryo 8F Controller Windows NT PC with pentium processor Windows NT Datalogger PC BROOKS T5X Techware Express Handler computer Front touchscreen, 17" No SMIF Power: 380 V AC, 3-Phase (25) Wafer slots (5) Chambers: HSE Chamber (3) Dep module chambers.
SPTS/STS/TRIKON Sigma FxP是一款高度先进、用途广泛的溅射设备,代表了薄膜沉积技术的前沿。该系统专为精度、效率和可靠性至关重要的大批量生产环境而设计。它提供了广泛的特性和功能,使其非常适合半导体制造、微电子、光子学等行业的应用。STS Sigma FxP的核心是其溅射室,该室配有多个磁控管源,可将多种材料以高精度和均匀性沉积到基板上。这些磁控管源可以单独控制,使沉积过程的精确调谐达到所需的膜性能和厚度。该装置还设有一个精密的过程控制机器,实时监测和调整关键参数,以确保稳定和可重复的沉积结果。SPTS Sigma FxP的主要优势之一是它的多功能性和灵活性。该工具同时支持直流和射频溅射模式,允许用户沉积广泛的材料,包括金属、氧化物、氮化物等等。此外,资产能够处理各种大小和形状的基板,使其适合广泛的应用。无论您需要在小型半导体晶片或大型玻璃面板上沉积薄膜,Sigma FxP都有能力满足您的要求。TRIKON Sigma FxP除了具有溅射功能外,还具有一系列高级过程控制和监控工具,可帮助优化沉积过程并提高生产率。该模型配备了全面的软件套件,允许用户设计自定义沉积配方,实时监控流程参数,并分析数据进行流程优化。这种自动化和控制的水平降低了人为错误的风险,并确保了一致和可靠的沉积结果。SPTS/STS/TRIKON Sigma FxP的设计也考虑到可扩展性,允许用户根据需要轻松扩展生产能力。该设备可配置多个工艺室,使基板能够并行处理,并在不影响质量的情况下提高吞吐量。这种模块化的设计还可以随着技术的进步轻松升级具有新特性或新功能的系统,从而确保您的投资保持面向未来。总体而言,STS Sigma FxP是一个最先进的溅射单元,结合了先进的技术、多功能性和可靠性,以满足现代薄膜沉积应用的苛刻要求。无论您是半导体制造商、研究机构还是工业公司,SPTS Sigma FxP都提供了在当今竞争激烈的市场中保持领先地位所需的性能和灵活性。凭借其先进的特性和功能,该机器有望推动创新,并能够在广泛的行业中开发下一代技术。
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