二手 SPUTTERED FILMS INC / SFI 8600 #9211503 待售

SPUTTERED FILMS INC/SFI 8600是为薄膜沉积而设计的PVD（物理气相沉积）溅射设备。该系统包括一个通用的、温度控制的、封闭的真空室以及三把磁悬浮的高速溅射枪，这些枪可以配置成以各种形状和大小存放不同的材料。该装置能够将薄膜沉积到包括塑料、金属和玻璃在内的一系列基板上。磁悬浮式火炮配备独立脉冲直流电源，允许稳定、精确地控制溅射电流和压力。喷枪控制很容易调节，占空比可以从1-99％调节，使溅射过程能够针对各种底物量身定制。这些火炮还能够以圆形轨迹旋转和移动，将均匀的材料层沉积在平坦或弯曲的基板上。该机还配备了大容量涡轮分子泵，允许更高的泵送速度来实现更低的沉积压力。真空室的温度可以调节，以方便沉积过程。该室设计为提供最佳工艺条件，同时避免颗粒污染，具有高热负荷能力和低应力。腔室还具有较高的电离速率，在沉积过程中提供稳定的气流动力学和低气压。该工具还具有负载锁室，以进一步增强资产的温度均匀性和水分控制。这个载荷锁室配有高压阀门和涡轮分子真空泵，可以快速、均匀地撤离腔室。它还包含一个基板存储单元，允许从腔室自动进行基板装卸。总体而言,SFI 8600是一种高度通用的溅射模型,可轻松高效地配置为将薄膜沉积到各种基板上。其精密控制的磁悬浮枪、温控真空室、载荷锁定室和自动基板装载设备均结合在一起，使SPUTTERED FILMS INC 8600成为可靠高效的薄膜沉积PVD溅射系统。