二手 SPUTTERED FILMS INC / SFI Endeavor 8600 #293628672 待售

ID: 293628672
晶圆大小: 6"
Sputtering system, 6" (4) Chambers CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor PC.
Sputter films IncSPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600是专门为薄膜沉积而设计的溅射设备。该系统利用基于等离子体的溅射工艺将薄膜沉积到基板上。溅射过程包括在真空室中用高能离子轰击基板表面。这导致原子从目标材料中喷射出来,并以薄膜形式沉积到基板表面。SFI Endeavor 8600溅射装置采用先进的功能集设计,可提供高的机器性能和更好的薄膜沉积控制。其中一个功能是工具的RF电源控制,它允许用户调整功率输出以匹配被溅射的材料。这有助于更好地控制薄膜厚度和沉积速率。此外,SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600包括一台双级、多源RF发电机,以最大限度地传递电力,减少离子能量扩散。该资产还包括一个10室溅射室设计,使其能够沉积多层并行提高吞吐量和最大膜质量。此外,该模型还具有模块化灵活性,允许用户安装多达10个工艺模块、1个机械泵模块和2个冷却系统。这提供了一个完全集成的设备,以溅射复杂的薄膜和专门的材料。最后,奋进8600提供了卓越的真空能力,预装了涡轮分子真空泵和涡轮泵。这允许更快的溅射时间和更好地控制薄膜特性。该系统还设计方便维护,并配有高可靠性组件和集成的安全特性,是薄膜沉积的理想工具。最后,SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600溅射装置是一种先进的薄膜沉积装置。它提供了一系列先进的特性和功能,提供了高工具性能和对胶片沉积的更大控制。该资产非常适合存放复杂的薄膜和专用材料,设计方便维护和可靠。
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