二手 SPUTTERED FILMS INC / SFI Endeavor 8600 #293628674 待售
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ID: 293628674
晶圆大小: 8"
Sputtering system, 8"
(4) Chambers
CTI CRYOGENICS 9600 Compressor
PC.
SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600是为薄膜沉积而设计的溅射设备。具有先进的精密沉积速率控制闭环系统和最大单位性能的低真空室。SFI Endeavor 8600能够利用磁力增强的薄膜沉积技术在大表面积上产生高纯度、均匀的层。它结合了多平面磁体来对准和集中目标材料,从而实现均匀沉积,同时减少目标侵蚀。此外,它还预装了专有软件,用于监测和控制工艺参数,如电流、温度、压力和沉积速率。SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600的设计方便用户且易于操作。它采用单平面表构建,便于访问所有组件,从而使操作员能够根据需要快速配置机器,并在样品准备和目标更换过程中最大程度地减少材料损失。此外,它还包含一个区域化的运动控制工具,该工具在过程夹具和腔室壁中具有集成的I/O电路,可实现快速、方便的维护和维修。Endeavor 8600提供了广泛的过程变量选择,如阴极温度、脉冲功率和脉冲时间,供用户定制溅射目标材料以满足其应用特定要求。它还具有创新的电源分配资产,可消除整个沉积区域的电压下降,并自动进行调整以解决目标降解问题,从而最大程度地减少均匀性问题和基板损坏。SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600是一款先进的薄膜沉积模型,能够为众多应用生产高质量的薄膜。它具有低真空闭环设备,用于精确的沉积速率控制,以及具有快速响应时间的脉冲电源系统,以确保薄膜的一致性。它通过其集成的运动控制单元和区域化的I/O电路提供易于使用和维护。此外,它还可以通过选择过程变量和它的可调电源分配机来根据具体要求进行定制。SFI Endeavor 8600提供了满足溅射需求的理想解决方桉。
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