二手 SPUTTERED FILMS INC / SFI Endeavor 8600 #293628676 待售

ID: 293628676
晶圆大小: 8"
Sputtering system, 8" (4) Chambers CTI CRYOGENICS 9600 Compressor PC.
SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600是一种溅射设备,用于一系列科学、工业和研究应用,将金属、金属氧化物和陶瓷材料的薄膜沉积在基板上。SFI Endeavor 8600使用磁控管溅射离子源,产生厚度均匀、纯度高的薄膜。它以直流电、射频和双频模式运行,具有最先进的控制器,具有可编程参数和可调脉冲电平。该系统使用包含三个主要组件的真空室:溅射目标、基板和真空泵。这些靶标通常由钛合金、铬合金、铬铂合金和铬钯合金组成,位于衬板和动力桨中。这些底物可能含有铜、玻璃、聚合物和其他材料,然后放在目标上方的夹具中。SPUTTERED FILMS INC Endeavor 8600利用单或三区真空室配有背板和动力桨控制溅射过程。这一特性允许在溅射膜精确均匀性和无与伦比的层覆盖。该单元还提供了可变压力选项,允许控制水平的溅射,并使用户能够调整压力以适应自己的特定要求。此外,Endeavor 8600还具有许多功能,使其成为研究人员和工程师的理想选择。这些特点包括快速转移室,确保基板在真空室和负载锁之间的转移过程中保持其原始位置。它还具有一个载荷锁和一个自动固定的样品支架,该锁的设计目的是将基板快速装入腔室,这有助于最大限度地减少污染和延长零件寿命。最后,SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor 8600包含手动和计算机控制的程序,为用户提供了为特定应用定制机器的能力。这种灵活性使得SFI Endeavor 8600成为研发和其他各种应用的强大而可靠的工具。
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