二手 SPUTTERED FILMS INC / SFI Shamrock 5 #9315279 待售

SFI （SPUTTERED FILMS INC） SPUTTERED FILMS INC/SFI Shamrock 5是一种物理气相沉积（PVD）溅射设备，设计用于薄膜的高精度沉积。该系统的设计满足了平板显示器、光电、储能、薄膜光伏电池等一系列行业的生产溅射应用需求。SFI三叶草5是一种单源全范围溅射沉积装置，提供可重复和一致的薄膜沉积结果。SPUTTERED FILMS INC三叶草5利用专为PVD应用而设计的高效真空磁多极磁控管。磁控管能够在最多四个独立的溅射源下运行，具有优越的均匀沉积特性。真空室的设计提供了更好的等离子体均匀性和低颗粒物产量。试样台载重量50公斤，可360度旋转，手动从0向45度倾斜或可遥控。载气输送机向该单元供应氧气或氙气，流量范围为0至500立方厘米/分钟。三叶草5具有完全集成的过程控制工具，可以控制整个PVD过程。这包括基板温度监测、可调工艺参数和实时工艺监测。资产包括统计过程控制（SPC）模型的接口,用于记录过程和质量控制数据。SPUTTERED FILMS INC/SFI三叶草5可以沉积大部分金属、合金、陶瓷材料和有机材料。该设备还支持特殊应用的单层和双层沉积。该系统可以手动或远程操作，可以与一系列数字和模拟设备连接。该单元还提供了数据采集、分析和过程控制的软件程序和仪器选择。总体而言，SFI三叶草5是一种高效、高精度的溅射机，适用于各种沉积过程。该工具的高级流程控制资产提供了一致且可重复的结果。该模型操作简单，为用户提供了远程控制流程参数和实时监控结果的能力。