二手 SUNIC IS-3000 #9153236 待售

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SUNIC IS-3000
已售出
製造商
SUNIC
模型
IS-3000
ID: 9153236
晶圆大小: 12"
Sputtering system, 12".
SUNIC IS-3000 Sputtering Equipment是一种先进的溅射沉积工具,设计用于制造薄膜结构时提供最高级别的过程控制。IS-3000系统由一个紧凑的溅射屏蔽室单元组成,该单元配有三个磁控管电源、三个溅射源和一个可选的基板加热器。一个计算机控制的平台提供实时机器控制和数据显示与图形用户界面。SUNIC IS-3000的独特设计使得可以溅射金属、氧化物、氮化物和其他化合物等多种材料。使用可选的基板加热器可以根据沉积材料在室温或高温下进行溅射,从而使用户能够制造形态复杂且材料性能得到改善的薄膜。加热器的使用还可以在基板上实现大面积均匀性和均匀性。IS-3000先进的功率控制允许高度精确和可重复的过程,同时对沉积速率的均匀性和总沉积膜厚度的均匀性提供了极好的控制。这使得对表面结构和组成有更好控制的沉积层成为可能。三个独立的溅射源使材料能够散装沉积或与不同的材料结合沉积,创造出更高的薄膜质量,并使较大面积的薄膜能够沉积,并提高了薄膜比例。SUNIC IS-3000工具体积小巧、结构坚固、软件稳定,是UV光刻和OLED器件制造的理想选择。IS-3000支持各种基板形状和尺寸,并具有引入口罩和基板的额外灵活性,从而使用户能够优化沉积过程。资产还支持整合自动化的装卸平台,从而降低劳动力成本,这是一个额外的好处。此外,该模型还具有监测薄膜沉积速率和质量的监测能力。SUNIC IS-3000溅射设备旨在提供对沉积过程的精确控制,以及为各种应用定制过程的灵活性。该系统的刚性结构和软件稳定性为薄膜的沉积和制造提供了最高的质量和最小化的薄膜与底物的相互作用,使薄膜的沉积和制造具有更好的均匀性。凭借其全面的功能和配件,IS-3000是各种应用的可靠选择。
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