二手 SURFACE SCIENCE Workstation #293808640 待售
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ID: 293808640
Pulsed Laser Deposition (PLD) system
Laser: COHERENT COMPexPro 201F or 205F
Wavelength: 248 nm
Substrate heater: 1000 °C
Substrate rotation: 50 rpm
Targets: 4 x 2"
Size: 2200 x 850 x 1600 mm³
Water cooling: Included chiller (201F)
Laser gases:
20 l Premix
10 l He
Built-in gas cabinet
Process gases:
2 MFC Channels
Automated pressure control
Control system:
PC Based control
Integrated TFT Monitor
Power supply: 3×400 VAC/50 Hz or 3×208 VAC/60 Hz.
SURFACE SCIENCE Workstation是一种尖端溅射设备,旨在为广泛的研究和工业应用提供精确高效的薄膜沉积。这套先进的系统采用了最先进的技术和工程技术,可在紧凑且用户友好的平台中提供高性能的溅射功能。工作站的核心是溅射过程,它涉及用高能离子轰击目标材料,从目标表面喷射原子或分子。这些喷射的颗粒然后沉积在基板上,形成具有厚度、组成和形态等受控特性的薄膜。SURFACE SCIENCE Workstation提供了一种用途广泛的溅射机构,可以容纳各种目标材料,包括金属、氧化物和半导体,使研究人员和工程师能够根据特定的应用量身定制薄膜特性。工作站中的溅射过程是由一个复杂的真空单元促进的,该单元在沉积室内保持高真空环境。这种真空环境对于通过尽量减少周围大气的污染和杂质来确保沉积薄膜的纯度和质量至关重要。真空机配备了先进的泵送机构,如涡轮泵和低温泵,以达到并保持最佳溅射性能所需的真空水平。SURFACE SCIENCE Workstation的沉积室设计可容纳多种目标材料和基材,允许多种用途的薄膜沉积配置。腔室具有对温度、压力、气流参数的精确控制,确保薄膜生长的一致性和可重现性。此外,该室还配备了现场监测和诊断工具,如石英晶体微天平和光谱椭圆偏振法,以实时反馈沉积过程和薄膜特性。Workstation中的溅射源是一种磁控管溅射工具,提高了溅射过程的效率和均匀性。磁控管溅射源利用磁场限制溅射过程中产生的等离子体,导致更高的溅射速率,提高了整个基板表面的薄膜覆盖率。SURFACE SCIENCE Workstation提供一系列磁控管配置,包括平面磁控管和圆柱形磁控管,以满足特定的沉积要求并优化薄膜质量。Workstation的控制资产由高级软件提供支持,该软件能够精确、直观地操作溅射过程。用户友好的界面让研究人员和操作员能够轻松设置沉积参数,监控过程变量,分析薄膜特性。该软件还具有数据记录和存储功能,能够为研究和开发目的全面记录和分析沉积实验。总之,SURFACE SCIENCE Workstation是一个最先进的溅射模型,为研究和工业应用提供先进的薄膜沉积能力。Workstation凭借其高性能的溅射机构、精密的真空设备、多功能的沉积室、磁控管溅射源以及直观的控制软件,为研究人员和工程师提供了探索和优化薄膜材料和性能的强大工具。
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