二手 SYSTEM CONTROL TECHNOLOGY / SCT VLS 2150 #9240536 待售

设备控制技术/SCT VLS 2150是一种溅射系统，广泛应用于半导体工业。该机组设有循环液氮（LN2）储层，为沉积过程提供低温溅射。该机提供物理和化学气相沉积（PVD和CVD）以及基板冷却和高精度温度控制。SCT VLS 2150具有整体倾斜旋转磁控管（MTM）,非常适合溅射各种材料。TOOL CONTROL TECHNOLOGY VLS 2150具有多种交互式、直观的操作员界面,可确保最佳、一致的结果。此资产使用户能够精确地设置和监视溅射参数,以及以图形方式导航溅射过程。可将基于PC的远程监控模型添加到设备中以实现最佳控制。VLS 2150具有溅射室，可以同时溅射多达五个样品，同时保持独立的温度控制。基板冷却被集成到系统中，这对于半导体工业生产更高精度的层很重要。该单元还可以处理多种材料的沉积，包括金属、氧化物等。在安全性方面，Machine CONTROL TECHNOLOGY/SCT VLS 2150拥有许多特色，例如触摸屏HMI、三重安全门盖和联锁、可调排气气流，以维持工具的安全操作。其高度自动化还确保了最高安全标准和高度可靠的过程。SCT VLS 2150溅射资产控制器配备了先进的实时溅射沉积控制功能，以及配方管理和存储模式，允许用户最多存储300个配方。它还包括自动操作，提供最高水平的准确性和可重复性。总体而言，设备控制技术VLS 2150溅射系统是为半导体及相关行业设计的一个强大的设备。它提供多种功能,包括高度自动化、精确的温度控制和交互式界面。VLS 2150以其先进的受控沉积，是溅射工艺的可靠高效选择。