二手 TANGO SYSTEMS Topaz #9209449 待售
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TANGO SYSTEMS黄玉是一种中央控制的溅射设备，设计用于高纯度薄膜的沉积。它采用模块化设计，为不同的沉积应用提供了灵活性。该溅射系统由一个主控制器单元组成，该单元具有用于控制单元操作和传输溅射参数的各种输入和输出端口。该机还包括一个倒置磁控管阴极、一个带控制器的排空子组件、一个真空工具、一个高压放大器、四个RF模块、一个过程排气、一个基板偏置和一个电源。黄玉的设计允许沉积薄而均匀的薄膜，对工艺参数进行精确控制。该资产能够在大面积和高沉积速率下沉积薄膜。它还配备了强大的控制模型，允许用户为不同的应用程序编程过程参数。该设备能够产生各种各样的特定沉积，从大面积到致密材料。在主控制器单元方面，它被设计为可以容纳四个RF驱动模块，一个亮度调整和一个电流控制。四个RF驱动模块提供给溅射阴极供电，而亮度调节有助于调节薄膜对比度。还包括电压控制器，用于根据沉积过程控制施加的电压和电流。主控制器还提供温度感应能力，用于膜沉积温度的分辨率。温度感应器用于测量膜沉积过程中基板的温度，系统执行器在需要时调节基板温度。该单元还具有提供流程监控和诊断功能的能力。可用于显示多种基板和沉积参数，使用户能够监控沉积过程。TANGO SYSTEMS黄玉溅射机还包括一个专有的自动化过程控制软件，它为用户提供了自定义和编程不同沉积过程的灵活性。该软件可用于控制温度、沉积速率和其他参数，以获得所需的结果。这些流程参数可以根据要求使用程序的用户界面进行修改和编程。自动化过程控制软件也可用于实现数据自动记录，以进一步分析沉积过程。总体而言，黄玉是一个全面的溅射工具，它结合了尖端技术和有效的用户界面，使薄膜的高效和精确的沉积。这一资产用途广泛，效率高，能够以高沉积率沉积高质量薄膜。
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