二手 TEAM TECHNIK ITO #293636225 待售

TEAM TECHNIK ITO
製造商
TEAM TECHNIK
模型
ITO
ID: 293636225
晶圆大小: 4"-6"
In-line sputtering system, 4"-6".
TEAM TECHNIK ITO是一种溅射系统,可以让研究人员以极高的精确度和高重复性开发出先进的薄膜涂层和功能结构。该系统由几个组件组成,包括一个射频电源、一个处理室和一个控制单元。射频电源提供制造薄膜涂层和功能结构所需的能量。电源的可编程频率范围为10 kHz至60 MHz,可以调整为不同级别的功率输出。这样可以确保薄膜涂层和功能结构可以以不同的厚度、表面饰面和粘合特性创建。该工艺室通过快速气流冲洗能力设计为最大的性能和效率。它设有一个用于加工各种基材的不锈钢腔室,如陶瓷、钢、聚酰亚胺等材料。腔室还设有冷却端口,在溅射过程中保持稳定温度,防止腔室组件过热。控制单元包括一个图形用户界面(GUI),允许操作员轻松编程和监控溅射过程。该综合接口包括可编程参数,如目标压力和氧气流率、目标气体溷合物、沉积时间等。先进的特点,如配方开发和溅射功率水平调整,允许复杂的实验和定制的薄膜涂层生产。总体而言,ITO是一个高性能的溅射系统,为先进的薄膜涂层和功能结构提供了卓越的精度、重复性和可编程参数。通过利用其电源、工艺室和直观控制单元的组合,研究人员可以显着提高生产率和产品质量。
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