二手 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Apollo Nova HP #9222501 待售
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已售出
ID: 9222501
晶圆大小: 12"
优质的: 2015
Sputtering system, 12"
Includes:
Automated front end, 12"
(2) Load ports modules with RFID readers
Load lock / Degas / Wafer heat treatment module
ICP Etch module
With CTI Cryo pump, 8" and Constant Pressure Strike (CPS)
Roughing pump
(5) MAGNETRON Deposition chambers:
Power supply: 20 kW
Cryo pump, 8”
Cryo pump, 10”
B1-NS HP MAGNETRON for Ti
(2) B1-NS HP MAGNETRON for Cu
ESC 2 set of (3) trays size kit, 12"
Load Lock Back Side Gas (LLBSG)
Nitrogen gas stick
(2) Boost deposition shields
(2) Etch chamber shields
SECS / GEM
Cable kit, 30 foot option
(2) Spare boost deposition shields
(2) Spare etch chamber shields
(2) B1 MAGNETRON for future Cu / Ti capability
2015 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Apollo Nova HP是一款由日本公司TEL设计制造的高性能溅射设备。该系统由真空室、感应线圈溅射源和电源组成。真空室采用不锈钢等材料设计和制造，旨在为溅射过程创造和维持高真空环境。它配备了多种真空计量和控制设备，如真空计、压力控制器和阀门，以确保真空室内真空水平的准确稳定维护。溅射源是一种感应线圈溅射源，由上下感应线圈源组成。它具有可调的电感、电流和频率，允许对各种材料的溅射条件进行优化。感应线圈溅射源允许薄膜均匀受控地沉积到真空室中的基板上。溅射装置的电源设计用于直流和射频电源。射频电源具有可调功率水平，电流和电压都受到控制，以允许精确的溅射条件。直流电源可独立调节，具有电流和电压控制功能，可调节溅射条件。TEL Apollo Nova HP是一款用途广泛、功能强大的溅射机，非常适合多种应用，如薄膜沉积、IC介电层、TFT和太阳能电池后表面场层。它坚固耐用，可用于微电子、汽车、太阳能等行业。
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