二手 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Nimbus 314 #9206551 待售

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ID: 9206551
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Sputtering system, 12" Includes: (3) Magnetrons RF Substrate bia ICP Etch Options With main system: (18) Electrostatic chucks for wafer (6) Trays Load lock degas SECS / GEM Interface Magnetron: G1-HP W/Ti 2007 Nimbus 314HP 300MM robot upgrade to include: EFEM: 12" (6) ESC Trays: 12" (2) Ground plane etch shields: 12" (2) Cassette adapters 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Nimbus 314(一种溅射设备)来自TEL(NEXX),是一种可自订且高度配置的溅射系统,旨在以低成本製造高品质薄膜。TEL Nimbus 314利用了由三个独立目标组成的三板设计,允许用户同时溅射多个晶胞或金属。溅射膜还可以针对电阻、结晶度、润湿特性等特性进行精确调谐,让用户创造出符合其精确要求的独特精准膜。NEXX Nimbus 314利用独特的磁密闭等离子体源,在目标腔室中产生比其他溅射系统更高浓度的离子。这导致更高的沉积速率和更大的均匀性在溅射膜,减少污染的可能性,使其成为理想的大体积应用。磁密闭等离子体源也允许Nimbus 314处理广泛的目标材料,从贵金属到合金和半导体材料。TOKYO ELECTRON Nimbus 314旨在最大限度地提高效率和灵活性。它有一个可调节的供应单元,可以配置为提供各种电压和基板,以确保目标材料被有效和一致地溅射。它还具有可用于精确角度调整的角度不变离子枪,以及用于增加可用溅射面积和定心精度的可调入射角。TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Nimbus 314还具有直观、易于操作的用户界面,使其成为有经验的专业人士和新用户的理想选择。它还配备了一套用于监控胶片增长的工具,以及用于调整各种参数以实现最大效率和可重复性的自动化流程。此外,该机器还内置了安全功能,旨在保护用户免受意外接触溅射材料的伤害。综上所述,来自TOKYO ELECTRON的TEL Nimbus 314 (TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX)是一款配置性强、效率高的溅射工具,旨在获得最佳性能和优越的薄膜质量。它提供了高度的灵活性,允许用户定制他们的影片,以满足他们的确切要求。这一资产利用强大的磁密闭等离子体源产生浓度更高、覆盖范围更均匀的离子,从而产生更一致的沉积速率和更高质量的薄膜生长。此外,它还配备了全面的用户界面和各种自动化流程,以提高效率和安全性。
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