二手 TORR CRC-150 #73201 待售

TORR CRC-150溅射设备是专门设计用于研究和工业应用的高性能溅射涂层。它提供了可靠可靠的沉积性能，适合众多的工艺应用要求。这种用途广泛的溅射涂料可用于沉积各种材料在广泛的基材尺寸和形状。CRC-150可以处理各种金属、氧化物、氮化物和各种工艺配置中的合金。TORR CRC-150是为快速、可靠的晶圆兼容性而设计的。它提供了一个机器人晶圆检索系统容易晶圆加载。该单元能够处理多个晶片与单次通过操作，并提供一致的结果。它也有几种沉积模式，包括标准的均匀层沉积、阶梯层沉积和深锥形蚀刻过程。CRC-150溅射机配备了大功率远程等离子体源（RPS）和先进的溅射过程。该工具能够在整个晶圆表面积上产生具有卓越均匀性和薄膜厚度的高质量涂层。该资产提供了广泛的参数来控制，如工艺室压力，气体流量，直流和短脉冲偏差，目标溅射速率。TORR的坚固耐用的设计和坚固的结构CRC-150使其能够生产出具有优异粘合性能的金属和陶瓷薄膜。此模型具有先进的自动化过程控制（APC）功能,能够产生紧密的均匀性和沉积速率、厚度及其他沉积参数的可重复性。APC设备能够在生产过程中自动更改目标参数,以适应不断变化的条件。CRC-150还配备了实时监视器,可监控系统在处理过程中的性能,并提供相应的反馈以调整处理参数。这个单元还提供了一个触摸屏控制界面，可以用来设置和查看溅射过程的参数。TORR CRC-150设计用于薄膜的精密沉积,广泛应用.非常适合生产优质、稳定、均匀的薄膜层。这种具有成本效益和高效率的溅射涂料机提供精确的沉积和过程控制，并具有最小的运行可变性。